כפי שהוזכר לעיל, דיוק העיבוד המרבי והחספוס המתאים הניתנים להשגה בכל שיטת עיבוד נקבעים על ידי מספר גורמים, כולל ביצועי ציוד, תכונות החומר, איכות הכלים וכו'. להלן דיוק העיבוד המרבי המשוער וטווחי החספוס המתאימים עבור שיטות עיבוד אלו תחת תנאים כלליים:TVVorburger,J.Raja, הדרכה למטרות גימור פני שטח.
עיבוד פריקה חשמלי: דיוק {{0}}.1-1מיקרומטר, Ra 1-10מיקרומטר. גריסה מדויקת: דיוק 0.01-0.1μm, Ra 0.05-0.25μm. פנייה: דיוק 0.{{10}}מיקרומטר, Ra 0.25-0.5מיקרומטר. כרסום: דיוק 0.1-1מיקרומטר, Ra 1מיקרומטר. עיבוד יהלום: דיוק סיבוב 0.001-0.01 מ"מ. חשוב לציין כי ערכים אלו הינם אומדנים בתנאים כלליים. דיוק העיבוד והחספוס הספציפיים תלויים גם בגורמים כמו תהליכים ספציפיים, ציוד, חומרים וכו'. בייצור בפועל, כדי להגיע לדיוק עיבוד גבוה יותר וחספוס קטן יותר, נדרש בדרך כלל ציוד מתקדם יותר ותהליכים מדויקים, לצד בקרה קפדנית על שונות פרמטרים של עיבוד שבבי.
תרשים סכמטי הממחיש חספוס משופר של פני השטח באמצעות ליטוש.
לדוגמה, ליטוש מדויק של קרמיקה וזכוכית יכול להשיג חספוס Ra ברמת ננומטר.
קֵרָמִיקָה:
חוֹמֶר |
רא (ננומטר) |
Rz (ננומטר) |
GDC |
1.176 |
7.823 |
אלסימה ל |
1.922 |
28.927 |
NEXCERA |
2.722 |
81.173 |
SiC |
0.401 |
2.1 |
CVD-SiC |
0.488 |
3.25 |
Si3N4 |
0.507 |
4.32 |
בריום טיטנאט |
0.549 |
1.816 |
AIN |
0.733 |
5.073 |
ZrO2 |
0.474 |
2.773 |
אלומינה שקופה |
0.8 |
6.5 |
פַּחמָן |
4.5 |
26.4 |
92% Al2O3 |
3.797 |
25.6 |
99.5% Al2O3 |
1.017 |
7.987 |
99.6% Al2O3 |
1.053 |
7.37 |
99.7% Al2O3 |
2.6 |
– |
Al2O3/ZrO2 |
7 |
39 |
אלומינה מרוסנת |
0.848 |
5.633 |
פֵרִיט |
0.874 |
6.627 |
סילון |
7.908 |
208.59 |
פחמן זכוכית |
0.669 |
4.557 |
CEPLA |
2.325 |
17.967 |
אוֹדֶם |
0.724 |
5.107 |
שחור Al2O3-ZrO2 |
7.637 |
117.343 |
Shapal® |
158.0 |
1159.0 |
TiO2 |
0.884 |
10.42 |
SS501 |
1.984 |
10.297 |
קורדירייט |
44.432 |
394.537 |
אפטות |
1.289 |
29.673 |
LLZT |
0.485 |
3.33 |
Mg2SiSn |
– |
– |
SiC ספוג SiC |
2.567 |
17.71 |
זכוכית:
חוֹמֶר |
רא (ננומטר) |
Rz (ננומטר) |
קוורץ מותך |
0.295 |
2.047 |
BK7 |
0.725 |
5.647 |
TEMPAX Float® |
0.426 |
3.067 |
זכוכית סודה-ליים |
0.73 |
5.4 |
CLEARCERAM™-Z |
0.609 |
3.757 |
זרודור |
0.541 |
4.217 |
זכוכית בורוסיליקט |
0.707 |
7.181 |